檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "郭鴻飛".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="對準誤差"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
在線路圖案的定義過程,無論是使用什麼型態的曝光系統,對準量測技術皆為關鍵的製程步驟,在曝光之前能夠準確的將載台進行可以有效減少製程的重工率,進而降低製程成本。本實驗室在先前的研究過程中,發現使用數位…
2
積體電路的飛速發展有賴於其中的關鍵製程微影技術不斷提高的工藝水平,而對準誤差(Overlay)作爲微影製程的重要指標因素,成爲需要不斷精進的控制對象,同時也需要做到愈發追求極緻的精準量測。目前,基於…